42.Pengeringan wafer silikon

《 Masalah 》

Metode konvensional bermasalah karena udara kering mengandung ion logam.

《 ⇒Titik Kaizen》
Dipanaskan dan dikeringkan dengan pemanas udara panas spesifikasi kamar bersih.
Karena pemanas dilapisi kaca, kandungan ion logam berkurang.