No.81 Pemanasan gas prekursor dalam proses pembuatan semikonduktor

《 Masalah 》

Kami sedang mempertimbangkan untuk memanaskan gas prekursor agar reaksi kimia berjalan secara efisien pada permukaan substrat.

《　⇒Titik Kaizen》

Pemanasan dilakukan dengan memasang pemanas garis halogen yang saling berhadapan. Karena mudah dipasang pada pipa, investasi modal berkurang.