66.Sumber panas untuk sistem metrologi wafer silikon

《 Masalah 》

Saya dalam masalah karena tidak ada cara yang baik untuk memanaskan wafer silikon dengan mudah.

《 ⇒Titik Kaizen》
Pemanas udara panas digunakan untuk menyuntikkan gas nitrogen bersuhu tinggi, dan suhu permukaan atas diatur hingga 40°C.
Sekarang dimungkinkan untuk mengukur wafer tanpa menggunakan ruang hampa.