《 Masalah 》
Tidak ada pemanas yang baik untuk menguapkan tetesan air pada wafer silikon dengan cepat.
《 ⇒Titik Kaizen》
Keringkan dengan cara diiradiasi dengan sinar infra merah jauh menggunakan pemanas garis karbon CFLH.
Karena panjang gelombang serapannya cocok, tetesan air menguap dengan cepat.
Waktu takt telah dipersingkat.
