No.21 Sumber Panas untuk Post-Exposure Bake (PEB)

《 Masalah 》

Sumber panas konvensional memiliki kecepatan pemanasan yang lambat, sehingga dapat menghambat peningkatan throughput.

《 ⇒Titik Kaizen》

Dengan menggunakan Pemanas garis karbon untuk proses PEB pada lapisan resist, pemanasan dapat dilakukan dengan cepat. Pemanasan yang lebih cepat meningkatkan throughput dan berkontribusi pada optimalisasi efisiensi produksi. Selain itu, desain Pemanas garis karbon yang ringkas memungkinkan penghematan ruang dan tata letak peralatan yang lebih fleksibel.