No.1 Mengeringkan wafer silikon 300mm setelah pembersihan presisi

《 Masalah 》

Tidak ada pemanas yang baik untuk menguapkan tetesan air pada wafer silikon dengan cepat.

《　⇒Titik Kaizen》

Keringkan dengan cara diiradiasi dengan sinar infra merah jauh menggunakan pemanas garis karbon CFLH.
Karena panjang gelombang serapannya cocok, tetesan air menguap dengan cepat.
Waktu takt telah dipersingkat.