No.19 Pemanasan Awal Chuck Holder pada Spin Coater

《 Masalah 》

Untuk meningkatkan keseragaman cairan pelapis, diperlukan pemanasan awal chuck holder pada spin coater hingga mencapai suhu yang sesuai. Namun, metode pemanasan konvensional memiliki kelemahan yaitu kenaikan suhu yang lambat, sehingga throughput menjadi rendah. Selain itu, ketersediaan ruang untuk pemasangan perangkat pemanas juga menjadi tantangan.

《　⇒Titik Kaizen》

Dengan menggunakan Pemanas garis karbon, waktu pemanasan awal chuck holder dapat dikurangi secara signifikan. Selain itu, desain Pemanas garis karbon yang kompak membantu menghemat ruang, sehingga meningkatkan efisiensi produksi.