《 Masalah 》

Sumber panas konvensional memiliki kecepatan pemanasan yang lambat, yang dapat menyebabkan penurunan throughput.

《　⇒Titik Kaizen》

Dengan menggunakan Pemanas garis karbon untuk proses post-bake pada lapisan resist, pemanasan dapat dilakukan dengan cepat. Peningkatan kecepatan pemanasan ini membantu meningkatkan throughput dan mengoptimalkan efisiensi produksi. Selain itu, desain Pemanas garis karbon yang ringkas memungkinkan penghematan ruang dan tata letak peralatan yang lebih fleksibel.